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系統搭載新型Claritas 20光調節技術，顯著提升角度靈敏度和數據質量，實現<0.2 ?的RMS可重復性與<0.1%的步高重復性，全量程內分辨率達0.1 ?。有限元優化的機械結構保障了出色的R&R性能，無壓電設計更降低了長期使用中的維護成本。自動表面檢測功能有效防止物鏡碰撞，延長設備壽命。