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PGI泰勒霍普森輪廓儀原理及測量信息
點擊次數:55 更新時間:2025-12-11
泰勒霍普森 PGI (Precision Geometric Instrument) 輪廓儀是英國泰勒霍普森公司 (Taylor Hobson) 開發的高精度表面測量設備,主要用于表面粗糙度、輪廓形狀、三維形貌和直徑測量,精度可達亞納米級(0.01nm)
核心技術與原理
PGI 技術全稱 "相位光柵干涉儀"(Phase Grating Interferometer),是泰勒霍普森的測量技術,具有革命性優勢:
突破性測量能力:可使用短測針測量大垂度 (sag),實現高剛度與低測力結合,大幅提升測量精度和重復性
工作原理:通過光柵衍射產生的干涉條紋變化精確計算表面輪廓,將機械位移轉化為光學相位差進行測量,垂直分辨率達0.01nm,測量線性度達 **±0.1%**
Form Talysurf PGI NOVUS
雙向測量:獨特的NOVUS 傳感器在正向和反向以相同精度測量,一次完成上下表面測量
測量范圍:20mm 量程,分辨率 0.2nm,適用于軸承、噴油器、精密零件等多種工業應用
軟件支持:搭載Metrology 4.0 智能軟件,提供虛擬顯示、智能移動和變量編程功能,簡化復雜測量

